Zeiss, ASML EUV 스캐너 생산을 좌우하는 독일 공장 확장…오버코헨 부지 착공 4년 만에 첫 새 건물 공개

Zeiss SMT가 독일 오버코헨(Oberkochen) 공장에 약 2만5,000㎡ 규모의 생산 관련 공간을 추가하며, 첫 번째 신규 건물이 먼저 문을 열고 나머지는 단계적으로 완공될 예정이다.

이번 증설은 ASML의 EUV 스캐너에 들어가는 광학 컬럼 생산을 뒷받침하기 위한 것으로, 첨단 반도체 장비 공급의 핵심 병목을 완화하는 데 목적이 있다.

ASML은 Low-NA EUV 생산을 늘리고 제작 기간을 단축하려는 계획을 추진 중이지만, 여전히 Zeiss의 생산 능력이 EUV 출하를 제약하고 있다고 밝혔다.

이 핵심 광학 부품의 사실상 단독 공급업체가 Zeiss인 만큼, 이번 확장은 Intel·TSMC 등 칩 제조사의 공급망 제약을 줄이는 데 의미가 있다.