하드웨어·2026년 5월 21일ASML CEO “일론 머스크가 TeraFab 칩 제조 메가프로젝트에 매우 진지하다” 밝혀… 직접 협의 확인 — 머스크, 1190억 달러 규모 텍사스 반도체 시설 겨냥Tom's Hardware