ASML 스핀아웃 인비식스, X선 기술로 칩을 검사하는 데 2,000만 유로 조달

ASML에서 분사한 인비식스(Invisix)가 히타치 벤처스, imec.xpand, 트랜지션 벤처스, 두산인베스트먼트와 비공개 1차 칩메이커로부터 2,000만 유로를 투자받았다.

에인트호번 기반 스타트업은 소프트 X선, 재구성 소프트웨어, 머신러닝을 결합한 반도체 검사 생산 시스템을 개발하고 있다.

이 기술은 광학 장비로는 정확히 측정하기 어려운 복잡한 3D 구조를 계측할 수 있으며, ASML에서 라이선스한 기술과 인텔·imec의 시연 경험을 바탕으로 한다.

정밀 계측 개선은 웨이퍼 수율을 높여 AI·메모리용 첨단 공정의 병목 해소에 도움이 될 수 있다.